オゾン酸化法

強力な酸化剤であるオゾンにより臭気成分を酸化分解したり、オゾンによるマスキング効果などを利用した脱臭方法である。
特に硫黄化合物に効果があるが、高濃度臭気の場合は他の方法で前処理する方が経済的な場合もある。

一般的に気相中での臭気成分とオゾンの反応速度がきわめて緩慢であることや、オゾンの注入量調節方法の難点などもあるが、オゾンと活性炭、オゾンと次亜塩素ソーダ等の組み合わせにより種々工夫をした脱臭装置が開発されている。
原料が空気または酸素であり、運転費が他の脱臭方式と比較して安価であるという特徴がある。