半導体工場にてスクラバー脱臭装置に不具合が発生！臭気調査事例

半導体工場のお客様の課題と目的

40個ある排気口のどこから・どんな臭気が出ているかを調査してほしい！

本工場には排気口が全部で40個あり、そのほぼ全てにスクラバー式脱臭装置が設置済み。また、一部活性炭脱臭装置も設置されていました。

スクラバー脱臭装置は半導体工場で一般的な臭気である酢酸のニオイへの対策で、対策をしているのにも関わらず工場の従業員から「ニオイがする」という声が出たことに、お客様は頭を抱えている状況でした。

このまま臭気を放置しておけば、いずれは近隣からの苦情につながりかねないので心配だということで、当社にその調査と対策をご依頼いただきました。

当社では正確な臭気の原因、さらには工場周辺への臭気の影響度を調査するために「KaLmoS（カルモス）」を使った臭気アセスメント・拡散シミュレーションをご提案させていただきました。（前のページで同じことが書いてあるので不要なのかなと思いました。）

KaLmoSによってニオイの原因が判明！

スクラバー排気に対して調査を実施！

KaLmoSでは、臭気調査＆拡散シミュレーションを実施することで、発生しているニオイを見える化することのできるカルモア独自の臭気調査システムです。

調査の結果、酢酸以外の臭質のニオイが発生していることが判明！

調査の結果、スクラバー式脱臭装置は正常に作動しており、一定の脱臭効果を発揮していることがわかりました。それなのになぜ、ニオイとなってあらわれていたのでしょうか。

それは、酢酸系以外にも溶剤系の臭気も発生していたからでした！

半導体工場においては、酢酸系の臭気が出ることがほとんどなので、多くの半導体工場は酢酸系の臭気を対策するためにスクラバー式脱臭装置を導入することが一般的です。

しかし、今回の工場のように酢酸以外の臭気も工程によっては発生してしまうことが少なくありません。

特に、溶剤系のニオイは悪臭と感じられやすい臭質で、近隣苦情になりやすい臭気でもあります。従業員の方が「ニオイがする」と感じられたのも、この溶剤系のニオイが原因だと考えられました。

また、溶剤系の臭気はスクラバー式脱臭装置や活性炭脱臭装置だけだと全部を取り切るのは簡単ではなく、その装置単体ではニオイを取りきれないことも少なくありません。

そのため、事前に万全な臭気対策をしていたと思っていたのにも関わらず、いざ工場を稼働してみると悪臭が発生してしまうというケースが起こりえます。

拡散シミュレーションで近隣への影響度を調査！

調査では、当社独自の拡散シミュレーションによって近隣住宅への臭気の影響度も調査させていただきました。その結果、ほとんどの排気口において臭気苦情になり得るレベルの臭気は出ておらず、現時点ではさらなる対策はしなくても問題ないということが分かりました。

ですが一部、溶剤臭の排気口は、苦情になり得るレベルの臭気が確認されたため、既存脱臭装置の改善対策をご提案致しました。

まとめ

事前にニオイの現況と周囲への拡散度を見える化することによって、本当に必要な対策をご提案します！

KaLmoSによる臭気アセスメント・拡散シミュレーションを行なった結果、今回の工場内で問題となったニオイは、概ね近隣からの臭気苦情にはならない程度のレベルであることが確認することができました。

悪質な業者の場合、「本来は必要のない臭気対策を提案してきて結果的に高コストになってしまった」といったトラブルも少なくありません。カルモアでは、事前にニオイの現況と周囲への拡散度を見える化することによって、本当に必要な対策をご提案させていただきます。

また、ニオイの強さや種類に合わせて、多種多様な臭気対策の中から、最適な対策・脱臭装置をご提案することが可能です。

「まずはニオイの原因と必要な対策を知りたい」「効果の出る確実な臭気対策を行なってほしいけど無駄なコストはかけたくない」、そんなお客様は、ぜひ一度当社までお気軽にご相談ください。日本全国対応で、海外もご相談に応じます。「空気」のご相談は、どんなことでもカルモアへお寄せください。